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神港精機株式会社

独自技術開発、オーダーメイド製作、多様な背景からの開発協力、堅牢性が特徴です。
・食品工場~宇宙産業で利用されるポンプで多くの実績があります。 ・装置技術としては、半導体電子部品用絶縁膜、フィルム用配線/絶縁膜、自動車用固体潤滑膜、電気自動車用パワーデバイス接合技術、ビームライン/光学素子用微細加工技術、ディスプレイ用防汚&光学膜、コンタクト用保護膜など大量生産対応の実績があります。
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078-332-3710
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取引先から評価されている点
  • 神港精機は最大手の大企業とは違い、人員や設備も限られていますが、その中でオリジナル技術をソフトウェア込みで開発しているため、お客様としてもオリジナリティやノウハウ保護にメリットがあり、また開発期間の短縮にもつながるため採用頂けたと考えます。
  • 新しい成膜方式により世の中にない酸化物蒸着を実現し、半導体用途で必須の耐プラズマコーティングにおいて最良の成膜装置を作り上げた事をご評価頂けたと考えます。
  • ビームライン用の光学素子を製作できる技術は世の中に少なく選択肢がなかったところに対し、当社ではこれまで光学素子などの実績があったわけではありませんが、培ってきたプラズマ技術の微細加工実績の提案がマッチしたものと考えます。
過去実績
ADMS(アーク放電式マグネトロンスパッタ)というスパッタリングの改善技術となります。通常より低い圧力でスパッタを行い、スパッタ粒子をイオン化する事で密着力/緻密性/反応性を改善します。写真はTiN成膜の比較ですが膜質が大きく変わっています。導電性を示すCNx膜なども対応可能な膜種となっており、他の用途に使える可能性のある各種窒化膜に対応します。
AFIP(アークフィラメント式イオンプレーティング)という蒸着の改善技術となります。蒸着中に粒子をイオン化する事で密着力/緻密性/反応性を改善します。写真は耐プラズマ性で知られるY2O3膜を10μm成膜したものですが、通常蒸着でここまで厚膜で成膜は出来ません。もともと密着に優れた蒸着を厚膜で成膜出来るようになり、耐プラズマ性のコーティングとしは非常に優れたものとなりました。反応性が良く、SiCなどにも対応しており、炭化/酸化/窒化膜の成膜が可能です。
Spring-8で利用される実験用光学素子の製作で実績があります。当社ではプラズマエッチングにより各種材料をエッチングする技術を開発保有しており、この案件では社内でコーティングを施したTa膜に対し、ICPプラズマによるエッチングを行い、螺旋形状の光学パターンを作製しました。他に100nm未満のドット、ピラー、ホールなどでの実績も各種ございます。
実績のある業界
  • 食料品製造業
  • 繊維工業
  • 化学工業
  • 電子部品・デバイス・電子回路製造業
事業内容
【表面処理】熱処理その他表面処理
真空装置、真空ポンプなど真空を使う機器を開発製造販売しています。対象は研究所~プラントレベルの開発~量産レベルでのものづくりに対応します。技術としては薄膜、熱、表面処理、ドライポンプなど環境負荷低減に寄与する先進的な技術開発を行っています。デモ機も複数所有しており試作対応も致します。

企業基本情報

住所 6500038
神戸市中央区西町35番地 三井神戸ビル4F
創業 1949年01月24日
設立 1949年01月24日
売上 5,000,000,000円
資本金 375,000,000円
従業員数 100-500名(2020年10月20日現在)
生産
キャパシティ
装置事業部第1営業課
海外への
納品対応可能エリア
法令の範囲内で海外諸国への供給にも対応します。
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